Glas Mikrostrukturierung
Protron bietet die Mikrostrukturierung von Quarz- und Borofloat-Glas an. Zusätzlich zu herkömmlichen nasschemischen Ätztechnologien setzen wir neueste 3D Mikrostrukturierungsmethoden zur Herstellung von komplexen Glasstrukturen ein.
Spezifikationen
- minimale Strukturgröße: 20µm
- maximale Strukturgröße: 120mm x 100mm x 6mm
- Typische Oberflächenrauheit: 1µm Rz
- laterale Genauigkeit: 2µm
- vertikale Genauigkeit: 3µm
- Positionsgenauigkeit: <1µm
- 2D und 3D Designs möglich
Anwendungen
- Mikrostrukturen aus Quarzglas
- Mikrostrukturen aus Borofloatglas
- 3D Mikrofluidikstrukturen
- Glasfaseralignmentstrukturen
- MEMS Deckelwafer
- Vakuum-Werkzeuge
- Mikrodüsen
Protron bietet
- Prototypenfertigung
- Serienfertigung
